半導體製程裡有一樣關鍵零件,叫「靜電吸盤」(Electrostatic Chuck)。這東西聽起來像某種刑具,實則是晶圓製造機台裡的「龍床」。在高真空、極端溫度的地獄環境下,要將那一薄片價值連城的晶圓抓得牢、貼得緊,還得精準控溫,靠的正是TOTO獨步天下的精密陶瓷技術。
來源網址 : 日本馬桶也沾上AI概念-TOTO一技術成半導體零件關鍵-進可攻晶片-退可守茅廁藍血工廠 | 星島頭條
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